Johannes ManzEntwurf, Modellierung und Realisierung eines kammstrukturbasierten MEMS-Mikrofons | |||||
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ISBN: | 978-3-8440-7557-1 | ||||
Reeks: | Selected Topics of Electronics and Micromechatronics Ausgewählte Probleme der Elektronik und Mikromechatronik Uitgever: Prof. Dr. Gerhard Wachutka, Prof. Dr. Doris Schmitt-Landsiedel en Prof. Dr. rer. nat. Gabriele Schrag München | ||||
Volume: | 51 | ||||
Trefwoorden: | MEMS; Mikrofon; Kammstruktur; Rauschen | ||||
Soort publicatie: | Dissertatie | ||||
Taal: | Duits | ||||
Pagina's: | 124 pagina's | ||||
Gewicht: | 182 g | ||||
Formaat: | 21 x 14,8 cm | ||||
Bindung: | Softcover | ||||
Prijs: | 45,80 € / 57,30 SFr | ||||
Verschijningsdatum: | September 2020 | ||||
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Samenvatting | In dieser Arbeit wurde ein alternatives Konzept eines MEMS-Mikrofons entworfen, um das Signal-Rausch-Verhältnis zu verbessern. Im neuen Bauelementkonzept wird das Schallsignal durch die Kapazitätsänderung in einer mikromechanischen Kammstruktur detektiert. Zur Unterstützung des Entwurfsprozesses wurde ein physikalisch basiertes modulares Simulationsmodell abgeleitet, das die gesamte Mikrofonfunktion prädiktiv abbildet. Die erfolgreiche Umsetzung des Konzepts zeigt sich in den realisierten Prototypen, die zusammen mit umfassenden theoretischen Untersuchungen das Potential des neuartigen Mikrofonkonzepts unterstreichen. |